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ULVAC愛發科 油旋片型真空泵
主要用途
? 蒸鍍設備、濺射設備
? 真空熱處理爐
? 檢漏設備
? 大型腔體排氣
高性能?低噪音?低振動的直聯型油旋片真空泵。
采用強制給油方式，實現大氣壓至真空領域的穩定排氣。
防回流結構，受到停電等影響停機時，可以防止油回流至真空腔室。
產品簡介
詳細介紹
ULVAC愛發科 油旋片型真空泵
ULVAC愛發科 油旋片型真空泵
ULVAC集團成立于1952年。自創業以來，與液晶平板顯示器、半導體和電子元件以及汽車、食品和制藥等一般工業設備等廣泛行業的業務合作伙伴一起，通過挑戰利用真空技術創造創新，努力創造新的價值。在顯示器、半導體、電子、電氣、金屬、機械、汽車、化工、食品、制藥等行業以及大學和研究機構的真空設備、周邊設備、真空元件和材料的開發、制造、銷售、客戶支持、進出口。此外，還是真空技術的研究主管和技術顧問。旨在通過相互合作和協作以及真空技術和周邊技術的綜合使用，為工業和科學的發展做出貢獻。
主要用途
• 蒸鍍設備、濺射設備
• 真空熱處理爐
• 檢漏設備
• 大型腔體排氣
可選擇空冷或水冷：可根據環境選擇。使用了油冷卻器降油溫。
• 內置油霧分離器：油罐內置可拆卸式油霧分離器。
• 追加了低噪音式樣（泵轉速下降）「VS650B-WL」
型號：
GLD-137AA GLD-137CC GLD-202AA GLD-202BB GLD-280A
GHD-031A GHD-101A
GCD-051X GCD-136X GCD-201X
VD151 VD201 VD30C VD40C VD60C VD90C
VS1501 VS2401
VS650B-A VS650B-W VS750B-A VS750B-W VS650B-WL
PVD-180 PVD-360
PKS-016 PKS-030 PKS-070B