日本ULVAC愛發科兩級型低溫泵
“型號：CRYO-U4H"是一種使用兩級型 GM 低溫冷卻器的低溫泵，能夠進行高真空抽氣。
根據 FPD、半導體、電子設備、光學和研發等應用，提供從小型到大型的廣泛產品。
日本ULVAC愛發科兩級型低溫泵
日本ULVAC愛發科兩級型低溫泵
特征
適用于 4 英寸低溫泵的出色泵送性能
高抽速提高了抽速和生產率。
zui 適于半導體制造的濺射工藝或其他小型設備
一臺壓縮機最多可運行 4 臺機組。
定制設計可滿足您的需求。
規范
| 抽速20°C） | 氮 | L/s | 450 |
| 氫 | 500 |
| 氬 | 370 |
| 水 | 1,100 |
| 極限壓力 | 帕 | 10-7 |
| 最大流量 | 氬 | 帕?L/秒 | 1.3×103 |
| 泵送能力 | 氬 | 帕?L | 1.0×107 |
| 氫 | 1,5×10%5 |
| 冷卻時間 | 最小（50/60Hz） | 45/50 |
| 重量 | 公斤 | 14.5 |
尺寸 （單位：mm）
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