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湖南中崎科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第3年

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當(dāng)前位置：湖南中崎科技有限公司>>機(jī)械備品備件>>ULVAC愛發(fā)科>> UNECS-1500A日本ULVAC愛發(fā)科自動(dòng)型光譜橢偏儀

日本ULVAC愛發(fā)科自動(dòng)型光譜橢偏儀

參   考   價(jià): ￥ 3000

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)UNECS-1500A

品       牌ULVAC/日本愛發(fā)科

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地長(zhǎng)沙市

更新時(shí)間：2025-06-26 15:27:58瀏覽次數(shù)：123次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合
日本ULVAC愛發(fā)科自動(dòng)型光譜橢偏儀
“Model：UNECS" 是一種光譜橢偏儀，可快速準(zhǔn)確地測(cè)量薄膜的折射率和厚度。它采用du 特的測(cè)量方法，實(shí)現(xiàn)了緊湊的尺寸和高速的測(cè)量。
3 種型號(hào)可用于 Φ150、200 和 300 mm 樣品。自動(dòng)映射 R-θ 載物臺(tái)和自動(dòng)對(duì)焦功能可以測(cè)量整個(gè)樣品表面的薄膜厚度，并通過彩圖顯示薄膜厚度分布。

日本ULVAC愛發(fā)科自動(dòng)型光譜橢偏儀

日本ULVAC愛發(fā)科自動(dòng)型光譜橢偏儀


特征

高速測(cè)量：實(shí)現(xiàn)快照測(cè)量方式，高速測(cè)量每點(diǎn) 20ms。

可見光譜范圍：可以選擇光譜波長(zhǎng)范圍。標(biāo)準(zhǔn)型為 530nm 至 750nm，可見光譜型為 380nm~760nm。

緊湊型傳感器單元：傳感器單元重量輕且非常緊湊。它由一個(gè)沒有任何旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的光學(xué)元件組成。此外，無需任何定期維護(hù)。

強(qiáng)大的產(chǎn)品線：擁有強(qiáng)大的產(chǎn)品線，包括便攜式、手動(dòng)/自動(dòng)載物臺(tái)型、內(nèi)置式和大型基板型等。

應(yīng)用

  • 測(cè)量透明或半透明的薄膜厚度 （D）、反射指數(shù) （N） 和消光系數(shù) （K）。（氧化膜、氮化物膜、光刻膠膜、ITO 膜等）

規(guī)格

型1500 安培2000 安培3000 安培
波長(zhǎng)范圍530 至 750 納米或 380 至 760 納米
光斑尺寸Φ1mm 或 Φ0.3mm
入射角70°
薄膜厚度可重復(fù)性1σ = 0.1納米
膜厚測(cè)量范圍1納米~2微米
測(cè)量時(shí)間采樣時(shí)間 ： 20ms 至 3000ms 分析時(shí)間 ： 300ms
樣品臺(tái)Φ150毫米Φ200毫米Φ300毫米
最大自動(dòng)可測(cè)量積分200點(diǎn)200點(diǎn)2,000點(diǎn)
控制 PC筆記本電腦，包括分析軟件
配置測(cè)量單位。控制單元。控制 PC（筆記本電腦型）和作手冊(cè) （CD）。



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