光刻膠溶液和 SOG 中的顆粒可以測量 0.15 μm 以上的顆粒
可連接到多點監(jiān)控系統(tǒng)
光學系統(tǒng)方式 | 橫向散射法 |
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光源 | 二極管激光器(波長 830 nm,額定功率 200 mW) |
接液部件材料 | 合成石英,PFA |
粒度分類 | 0.15 μm~0.5 μm 范圍內的 10 個級別運輸:0.15 μm、0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm 或更高的 4 個級別 |
額定流量 | 10 毫升/分鐘 |
最大顆粒計數濃度 | 1,200 單位/mL(計數丟失在 5% 以內) |
權力 | DC12 V(由 KE-40B1 供電) |
大小 | 約 160 毫米(水平)× 300 毫米(寬)× 251 毫米(深)毫米(不包括突出部分) |
重量 | 約 7.5 kg |
粒子計數器是測試空氣塵埃粒子顆粒的粒徑及其分布的專用儀器,由顯微鏡發(fā)展而來,經歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計數器、激光空氣粒子計數器、凝結核粒子計數器、多通道多功能粒子計數器等過程, 廣泛應用于為各省市藥檢所、血液中心、防疫站、疾控中心、質量監(jiān)督所等機構、電子行業(yè)、制藥車間、半導體、光學或精密機械加工、塑膠、噴漆、醫(yī)院、環(huán)保、檢驗所等生產企業(yè)和科研部門。
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