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腔體內(nèi)沒(méi)有潤(rùn)滑油，對(duì)水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能。
• 主要部件表面進(jìn)行硬質(zhì)氧化處理，提高耐腐蝕性，同時(shí)減少泵體內(nèi)部損傷。
• 此特性可選，標(biāo)準(zhǔn)品表面不處理。
• 配置變頻器后與粗抽泵同時(shí)啟動(dòng)，與標(biāo)準(zhǔn)泵相比有效縮短排氣時(shí)間。
• 此配件可選，標(biāo)準(zhǔn)泵不配置。
• 鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入。
• 真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣。
• 分析儀器、密封裝置。
• 真空熱處理爐、溶解爐。
• 其他各種真空裝置。
* 1 用皮拉尼真空計(jì)測(cè)量的值，如用麥?zhǔn)险婵沼?jì)測(cè)量，則為6.5×10-2Pa。
* 2 隨粗抽泵的性能而變化，表中數(shù)據(jù)是與標(biāo)準(zhǔn)粗抽泵組合使用時(shí)的數(shù)據(jù)。
* 3 冷卻水入口溫度必須為5～30℃。如冷卻水溫過(guò)低，則泵應(yīng)在不易結(jié)露的環(huán)境中使用。
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