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日本進口YUTAKA半導體用壓力控制設備高純度氣體用調節器L20系列
L20系列是專為高壓半導體工藝制造氣體而設計的產品。基本結構是外部金屬密封和焊接接頭，使其成為具有優異的外部泄漏和顆粒性能的產品。此外，我們還提供多種選擇來容納各種高純度氣體，使其成為氣瓶柜的理想選擇。
功能高壓
焊接規范金屬墊片配件調節閥結構針型兼容氣體7種特殊高壓氣體
腐蝕性氣體有毒氣體
以外的氣體標準流量～60NL/分鐘
入口壓力 14.8MPa以下（最大19.6MPa）
調節壓力 Max.0.99MPa
（范圍規格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa）
氣源壓力波動 入口壓力：每0.1MPa，調節壓力變化量0.00021MPa
承受壓力 22.2MPa（進口側）
CV值 0.09
工作溫度 -10~+40℃
外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法）
內部容積 4.67cm（不含3個壓力表及接頭）
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