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玉崎科學儀器（深圳）有限公司
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ULVAC 愛發科現貨皮拉尼真空計（代表機型 GP-1G/2G、GP-G 系列、GC10 系列）是低-中真空（103~5×10?2 Pa）領域的主流傳感器。它把“氣體分子帶走的熱量"轉換成電信號，再經恒溫橋式電路、線性化算法、溫度補償、數字濾波等多級處理，最終輸出與壓力呈線性關系的 DC 0-10 V、RS-232/485、BCD 或 Profibus 信號。以下從工作原理、結構細節、關鍵特性、典型選型、安裝維護、故障診斷、應用案例七個維度展開 1500 字以上的深度解析，供設計、工藝、維護人員參考。
────────────────一、工作原理：從宏觀熱傳導到微觀分子碰撞
- 熱傳導真空規的宏觀定義
在克努森數 Kn<0.01 的粘滯流區域，氣體熱傳導系數 k 與壓力 p 成正比；在 Kn>1 的分子流區域，k 與 p 成線性關系。皮拉尼真空計正是利用 0.5~100 Pa 之間 k∝p 的過渡區，通過測量熱絲（Sensor Wire）因分子碰撞損失的熱量，來反推壓力。 - 恒溫橋式電路（Constant-Temperature Pirani）
ULVAC 采用兩級惠斯通電橋：
- 第一級：Pt 細絲與參考電阻 Rref 組成主橋臂；
- 第二級：運算放大器+功率晶體管形成閉環，使燈絲溫度恒定在 110 ℃（典型值）。
當壓力升高 → 熱損失加大 → 閉環立即提高加熱電流 IH 以維持溫度；IH 與 p 的關系由實驗標定為
IH = I0 + k·p /(1+α·p)
其中 I0 為零壓殘余電流，k、α 為燈絲常數。數字 MCU 將 IH 經 12-bit ADC 采樣后，查表線性化，輸出標準信號。
- 溫度補償與環境修正
ULVAC 在傳感器頭部內置 10 kΩ NTC 熱敏電阻，實時檢測環境溫度 0-50 ℃，MCU 以 1 Hz 頻率對 k 值進行二階補償，保證全溫區精度 <±3 %。
對于含氫、氦等高熱導率氣體的工藝，用戶可通過面板或串口輸入氣體系數（N?=1.00，H?=2.40，He=1.85），MCU 自動修正讀數，避免 50 % 以上誤差。
────────────────二、結構細節：從燈絲到表頭
- 測定子（Sensor Gauge Head）
- 燈絲：φ15 µm 純鉑，表面濺射 0.2 µm 氧化鋁絕緣層，防止碳氫聚合；
- 支架：雙云母片+不銹鋼 304L 彈簧，抗 200 ℃ 烘烤；
- 外殼：KF16/25/40、CF16/35、NPT1/8 可選，內部拋光 Ra 0.2 µm，減少放氣；
- 防護：燈絲上方 100 µm 金屬網，防止機械沖擊；
- 互換性：同一表頭±10 % 互換誤差，無需重新校準。
- 控制單元（Controller）
- 電源：DC 24 V±10 %，功耗 5 W；
- 顯示：4? 位 OLED，亮度 7 級可調，真空單位 Pa/mbar/Torr 一鍵切換；
- 設定點：2-3 組 SPST 繼電器，觸點 250 VAC 2 A，帶 LED 狀態指示；
- 通訊：標準 RS-232C（115200 bps），可選 RS-485/Profibus DP；
- 面板：DIN 96×48 mm，IP40 前面板，插入深度 110 mm，可 90° 旋轉安裝。
────────────────三、關鍵性能指標（以 GP-1G 為例）
- 測量范圍：1×10? Pa（大氣）~5×10?2 Pa
- 再現性：±2 %/year（燈絲老化補償后）
- 響應時間：T90<30 ms（粘滯流區），T90<500 ms（10?1 Pa）
- 溫度系數：<0.05 %/°C
- 抗污染：燈絲可在 1000 ppm C?H? 下長期工作 3000 h
- 電磁兼容：EN 61326-1 Class A，CE 認證
- 防護等級：表頭 IP40，遠程傳感器 IP54（加波紋管）
────────────────四、選型與訂貨號
- 標準型
GP-1G-S（KF16 表頭）+ GC10-RS（控制單元） - 防腐型
GP-1G-HC（燈絲鍍金 0.5 µm，耐氟化工藝） - 高溫烘烤型
GP-1G-BK（可 200 ℃ 烘烤 24 h，CF35 法蘭） - 多通道型
GC10-4CH（一臺控制器帶 4 路表頭，節省機柜空間）
────────────────五、安裝與配管
- 位置選擇
- 遠離泵口 5D（D 為管徑）以上，防止油蒸汽回流；
- 垂直或水平安裝均可，但需保證燈絲處于氣流中心；
- 避免 0-50 ℃ 以外的環境溫度，否則需加冷卻板。
- 電氣連接
- 傳感器電纜：ULVAC 原裝 3 m 屏蔽線，延長不得超過 100 m（>50 m 需加中繼器）；
- 繼電器輸出：建議加 RC 吸收回路（47 Ω+0.1 µF）抑制電弧；
- 通訊：RS-485 總線最多 32 節點，末端 120 Ω 終端電阻。
- 零點校準
安裝或更換燈絲后，在 <1×10?3 Pa 的極限真空下長按“ZERO"3 s，MCU 自動寫入 EEPROM，完成后指示燈閃爍 5 次。
────────────────六、維護與故障診斷
- 日常檢查
- 每 3 個月檢查燈絲是否發黑、斷線；
- 每 6 個月測量繼電器觸點電阻 <100 mΩ；
- 每年用標準漏孔（1×10?? Pa·m3/s）比對，偏差>±5 % 時返廠校準。
- 常見問題
- 讀數偏高：燈絲污染 → 用 IPA 超聲清洗 5 min；
- 讀數無變化：電纜斷線 → 測量線間電阻 10-14 Ω；
- 繼電器不動作：檢查設定點是否被誤設為“手動關閉"；
- 通訊中斷：RS-232 交叉線 TX/RX 接反。
────────────────七、典型案例
- 半導體 LPCVD 多晶硅爐
需求：監控 10 Pa 工藝壓力，互鎖泵組。
方案：GP-1G-S（KF25）+ GC10，設定點1=15 Pa（報警），設定點2=5 Pa（停泵）；通訊 RS-232 接入 PLC，實現配方自動切換。 - 液晶面板 OLED 蒸鍍線
需求：粗抽 100 Pa→20 Pa→2 Pa 三階段，需 3 組設定點。
方案：GP-2G（雙燈絲冗余）+ GC10-3SP，燈絲壽命預測算法 100 h 提示更換，避免停機。 - 制藥冷凍干燥機
需求：0.5 Pa 終點判斷，滿足 GMP 數據追溯。
方案：GP-1G-HC（316L 表頭）+ Profibus 網關，數據上傳 MES；在 CIP/SIP 135 ℃ 蒸汽滅菌后，一鍵重新零點，無需拆表。
────────────────八、壽命與經濟性
- 燈絲 MTBF：>5000 h（N? 環境，平均 10 Pa）；
- 整機質保：3 年或 25 000 h，先到為準；
- 備件成本：燈絲組件 300-400 元/套，控制單元 2000-3000 元，更換時間 <5 min；
- 與熱偶規相比，皮拉尼無需易碎的熱電偶結點，綜合擁有成本低 30 %。
────────────────九、未來演進ULVAC 正在開發 MEMS 皮拉尼芯片，尺寸 3×3 mm，功耗 <50 mW，預計 2026 年推出。該芯片將燈絲、測溫電阻、參考腔集成在硅基上，通過晶圓級真空封裝，可批量生產，成本降至現有 1/5，適合 IoT 真空監測節點。
────────────────結語
ULVAC 現貨皮拉尼真空計憑借寬量程、高可靠、可互換、易維護的優勢，已成為真空粗抽/中抽系統的“標配"。正確理解其熱傳導原理、合理選型、規范安裝與定期校準，可確保 5-10 年的穩定運行，為半導體、光伏、制藥、科研等行業提供值得信賴的低-中真空測量基準。
ULVAC 現貨皮拉尼真空計憑借寬量程、高可靠、可互換、易維護的優勢，已成為真空粗抽/中抽系統的“標配"。正確理解其熱傳導原理、合理選型、規范安裝與定期校準，可確保 5-10 年的穩定運行，為半導體、光伏、制藥、科研等行業提供值得信賴的低-中真空測量基準。
