奧林巴斯工業檢測顯微鏡 MX63/MX63L系統支持檢測尺寸達300毫米的晶圓、平板顯示器、印刷電路板以及其他樣品的質量。這些符合人體工學設計的人性化系統采用模塊化設計，可在各種應用中實現觀察條件。

MX63系列的各種觀察功能可生成清晰的圖像，讓用戶能夠對樣品進行可靠的缺陷檢測。全新照明技術以及圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和存檔檢測結果提供更多選擇。

全面可定制

MX63系列設計用于讓用戶能夠選擇各種光學器件滿足其特定的檢測和應用需求。該系統可使用所有觀察方法。

用戶還可從一系列的圖像分析軟件包中進行選擇，以滿足其特定的圖像采集和分析需求。

兩個系統兼容多種樣品規格

MX63系統能夠檢測尺寸達200毫米的晶圓，而MX63L至大可檢測300毫米的晶圓，兩款具有相同的較小占用空間。MX63系列的模塊化設計可輕松地根據您的特定需求定制顯微鏡。

奧林巴斯工業檢測顯微鏡 MX63/MX63L技術參數