海克斯康HEXAGON高精度三坐標測量機xpert

海克斯康HEXAGON高精度三坐標測量機xpert

一、產品概述

海克斯康HEXAGON XPERT系列是專為計量實驗室和制造領域研發的超高精度三坐標測量機，代表了當代坐標測量技術的超高水平。該產品基于ISO 10360-8國際標準開發，通過德國PTB認證，能夠滿足VDI/VDE 2617最高精度等級要求，是精密制造領域計的量基準設備。

二、核心技術架構

1. 精密機械系統

• 采用天然花崗巖基座與精密陶瓷導軌組合，熱膨脹系數低至0.8×10??/K

• ULTRA-DAMP靜音減震機構，可將環境振動影響降低90%以上

• 納米級分辨率光柵系統，分辨率達0.001μm，重復定位精度優于0.3μm

2. 智能控制系統

• CERTO-ULTRA多核并行控制系統，采樣頻率高達1000Hz

• 自適應溫度補償算法，實時修正環境溫度變化帶來的測量誤差

• 智能碰撞防護系統，可檢測0.1N級別的異常接觸力

3. 測量軟件平臺

• 標配METROSOFT Ultra專業計量軟件，支持PMI全尺寸自動評價

• 內置132種國際/行業標準評價規范數據庫

• 支持點云數據處理與CAD數模對比分析

三、性能參數

四、典型應用

1. 精密光學元件檢測

• 可測量直徑0.1mm的微型透鏡曲率半徑

• 非球面光學元件面形精度評價

• 自由曲面光學器件逆向工程

2. 半導體制造領域

• 光刻機零部件形位公差檢測

• 晶圓載具平面度測量

• 蝕刻模具三維輪廓分析

3. 計量標準器檢定

• 標準環規/塞規尺寸溯源

• 多齒分度臺角度基準校準

• 激光干涉儀反射鏡面形檢測

五、服務支持

提供完整的計量解決方案，包含：

• 現場安裝調試與CMM認證服務

• 年度精度校準與維護保養

• 操作人員專業培訓課程

• 24小時遠程技術支持