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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDX600
  • 發布時間2025-05-20
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視頻簡介

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDX600

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無油干式設計:采用無潤滑油機械結構,可避免介質污染,適用于超潔凈工藝環境,如半導體晶圓制造等。

氮氣吹掃功能:支持氮氣吹掃功能,氮氣流量可在 0 至 80SLM 范圍內調節,增強了工藝靈活性。

高效節能:通過新型加熱器系統與機械結構優化,實現了低功耗化,功率僅 1.5kW。

抽氣能力強:最大抽速可達 10,000L/min,極限壓力為 0.5Pa,能夠快速有效地抽取氣體,滿足不同應用場景的真空需求。

小型化設計:外形尺寸為 695×285×820mm,機身小巧,節省安裝空間。

冷卻水需求低:冷卻水流量僅需 3.0L/min,對冷卻系統的要求不高,可降低運行成本和設備復雜度。

安全可靠:符合工業安全標準,配備高安全性防護設計,能在工況下穩定運行。

產品兼容性好:支持與同系列設備協同工作,可擴展應用場景,例如可與 SDT600 或 SDX1200 等搭配使用。

應用領域廣泛:適用于化工、電子 / 電池、半導體制造、實驗室等領域,可用于晶圓加工、蝕刻等關鍵工藝的真空環境控制,以及高純度實驗環境及腐蝕性氣體處理。


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