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通過使用熱傳感器，實現100msec(typical)高速流量控制。使用LINTEC非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥，可實現腐蝕性氣體的超高速流量控制。
流量精度可達到±1.0％S.P.，數字通信方式可選擇DeviceNet或EtherC
產品特點
超高速流量控制200msec
精度±1%S.P.
使用溫度5～50℃
金屬密封材
無塵（粒子標準監控）
周圍溫度補償傳感器
支持EtherCAT通訊方式
支持DeviceNet™通訊方式
質量流量控制器 北崎日本LINTEC林泰克 MC-7100D
質量流量控制器 北崎日本LINTEC林泰克 MC-7100D
超高速流量制御
在半導體制造工藝中，在微細化的同時還需要提高產量。對于控制反應氣體流量的質量流量控制器來說，縮短流量控制開始(啟動)時間的需求日益增加。超高速質量流量控制器【MC-7000】因為使用了非接觸式熱式流量傳感器，流量傳感器與流量測量氣體不接觸，可實現200msec的超高速響應。同時，因為非接觸式的特點，該流量控制器可用于測量腐蝕性氣體。
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封材 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 20SLM | Au |
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