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| 應用領域 | 能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合 |
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標準設備包括半導體制造工藝所需的金屬密封件和 LINTEC 創的補充環境溫度的質量流量傳感器，該傳感器支持液化氣體和其他可選規格。
精度范圍±1%S.P.
金屬密封件
無塵生產（顆粒標準監測）
環境溫度輔助質量流量傳感器
EtherCAT通信
小流量 F.S.
液化氣
流量范圍大
LINTEC林泰克 質量流量控制器 華中優勢供應 MC-5250C
LINTEC林泰克 質量流量控制器 華中優勢供應 MC-5250C
越來越多的半導體制造設備配備了EtherCAT通信接口（數字I/F），用于機械臂等運輸系統的高速控制。 MFC 具有 65,536 個用于 EtherCAT 通信的節點，MFC 的所有測量系統和驅動系統組件都可以通過 EtherCAT 通信進行統一。
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 敏 F.S. | 馬克斯 F.S. | 海豹 |
| 15~35°C | 50kPa | 300kPa | ±1%股份代價 | 2~100%F.S. | 10SCCM的 | 300SLM | 金 |
此表僅顯示一般規格的 MFC。 根據可選規格而有所不同。
■簡 介
●MC-5000C系列主要是根據SEMI標準所制成的EtherCAT®通訊接口質量流量控制器
■特 點
●通訊接口采用SEMI E54.20-1108標準的EtherCAT®
●搭配LINTEC的環境溫度補償式質流傳感器
●內置微處理器提高處理效能
●控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構造所組成
●采用高速度，高性能的壓電控制閥
●使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護性提高
●采用金屬外殼以及各種濾波器，在高磁噪音及直流磁場的環境下亦能維持其安定性
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