通過將高溫氣體接觸部分與不耐熱的基板部分分離，可以實現高溫環境下的氣體控制。接氣體加熱模塊采用不銹鋼材料SUS-316L，密封材料采用Au，可對應腐蝕性氣體。在標準配置基礎上，還可選配防止液化氣體再次液化的低壓差規格，以及接觸氣體部分專用加熱模塊。
日本LINTEC林泰克供應 氣體流量控制器 MC-3102L-TC
日本LINTEC林泰克供應 氣體流量控制器 MC-3102L-TC

使用范例

液化氣體、升華氣體流量控制

CVD（化學氣相沉積法）和 ALD （原子層沉積法）中所使用的氣源不僅限于常溫常壓下的氣體，也可能是常溫常壓下的液體或固體原料。液體和固體在常溫條件下產生的氣體較少，很難利用壓差原理來控制流量。因此，MFC的工作壓力是通過加熱原料罐并增加蒸汽壓力以產生壓差來確保的。MC-3000L-TC能夠進行高溫控制和低壓差工作，是液化和揮發性氣體流量控制的理想選擇。

規格表

※此表僅表示一般規格的MFC。　根據選配規格變化。

■簡 介
●MC-3000L-TC 系列是可適用最高溫度達120℃的質量流量控制器
■特 點
●可用于120℃高溫環境下操作
●采用標準RS-485數字通訊接口
●搭配LINTEC的環境溫度補償式質流傳感器
●內置微處理器提高處理效能
●控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構造所組成
●采用高速度，高性能的壓電控制閥
●使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護性提高
●采用金屬外殼以及各種濾波器，在高磁噪音及直流磁場的環境下亦能維持其安定性