配備LINTEC的環境溫度補充質量流量傳感器，在±1%F.S.精度范圍內減少壓力損失。
配備的高性能壓電控制閥，即使在低壓差壓力環境下也能實現穩定、精確的流量控制。
日本LINTEC林泰克低壓差質量流量控制器 MC-3000S
日本LINTEC林泰克低壓差質量流量控制器 MC-3000S

使用案例

低溫環境下低蒸氣壓氣體的流量控制

MC-3000S系列是LINTEC開發的具有壓力損失結構的質量流量控制器，即使在室溫下，當二次側處于真空狀態時，也可以控制H2O等液體原料的流量。 建議使用將少量水蒸氣輸送到真空室的ITO濺射方法。 此外，即使在室溫下，即使是低蒸氣壓的固體原料，如XeF2，也可以進行流量控制。

減壓罐容器（SDS 容器）的流量控制。

離子注入設備使用AsH3、PH3等特殊材料氣體，常使用安全輸送源（SDS）容器，以實現安全穩定的輸送。 充注SDS的罐體壓力低于大氣壓，需要與低壓差環境相對應的MFC。 MC-3000S系列產品具有低壓差結構，可以滿足這一需求。

規格表

*此表僅顯示一般規格的 MFC。 根據可選規格而有所不同。

■簡 介
●MC-3000S系列是利用LINTEC開發的低壓損設計， 針對低壓差環境的質量流量控制器
■特 點
●開發的低壓損構造，可在6Torr低壓差的環境下,控制10SCCM(N2 )的流量
●可運用在AsH3和PH3雜質摻入制程，亦可控制未加熱的XeF2或H2 O等固體、液體
●采用標準RS-485數字通訊接口
●搭配LINTEC的環境溫度補償式質流傳感器
●內置微處理器提高處理效能
●控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構造所組成
●采用高速度，高性能的壓電控制閥
●使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護性提高
●采用金屬外殼以及各種濾波器，在高磁噪音及直流磁場的環境下亦能維持其安定性