適用于Ar、N2等惰性氣體及Air的流量控制。由于型號固定，所以制作周期較短。
選配VR（可變流量）功能可改變流量范圍。支持RS-485數字通信接口

使用范例
西南供應LINTEC林泰克日本 氣體流量控制器 MC-10RC-06
西南供應LINTEC林泰克日本 氣體流量控制器 MC-10RC-06

PVD

在PVD濺射鍍膜設備中，通常使用Ar（氬），這是一種穩定的、耐化學反應的惰性氣體。 如果您需要使用MFC控制Ar之類的惰性氣體的流量，我們建議使用經濟型質量流量控制器（MC-10RC）。

惰性氣體分析、實驗設備

如果流量控制的目標氣體不會腐蝕密封材中的樹脂部分，我們建議使用經濟型質量流量控制器MC-10RC。此外，可選的VR功能可支持不同氣體類型與流量范圍。該產品是簡單實驗、分析設備的理想選擇。

規格表

※此表僅表示一般規格的MFC。　根據選配規格變化。

■簡 介
●MC-10系列主要對應短制作時間及低成本考慮需求的質量    流量控制器
■特 點
●使用橡膠密封，著重低成本考慮
●流量精度于±1%F.S.內
●適用10SCCM～50SLM的寬廣滿量程流量范圍
●可追加變更流量范圍功能VR : (基準流量)÷(全流量)   ×C.F.=VR值，將不同VR值輸入機臺外部的3位數旋鈕   即可選擇不同氣體種類及滿量程流量
●搭載VR機能，一臺質量流量控制器，可適用各種不同氣體   以及滿量程流量的變更，降低用戶成本
●可追加RS-485通訊接口，最高可同時連接32臺質量   流量控制器
●搭配LINTEC的環境溫度補償式質流傳感器
●采用高速度，高性能的電磁控制閥
●采用金屬外殼以及各種濾波器，在高磁噪音及直流磁場的  環境下亦能維持其安定性