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激光干涉儀是一種利用光干涉以 高的精度測量距離和形狀的設備。
設備內置光源輸出的激光被稱為分束器的特殊鏡子分成兩束。一側直接照射到樣品表面，另一側在照射前經過分束器反射一次。
此時，兩束激光之間的光程長度出現差異。當兩個波重疊時，干涉圖案會根據波的相位而變化。由于干涉圖案隨光路長度而變化，因此它會根據樣品表面的粗糙度而敏感地變化。
因此，可以從干涉圖案分析樣品表面的形狀。由于其測量精度高、非接觸性，被應用于工業領域、科學研究等各個領域。
激光干涉儀的應用
激光干涉儀用于分析固體樣品的表面形貌。例如，用于分析需要精確控制形狀的相機鏡頭和隱形眼鏡等鏡片的表面，以及測量DVD光盤和玻璃的表面形狀。
它可以用于廣泛的領域，因為無論樣品的形狀如何，例如平面、球形或半球形表面，都可以使用它。另一方面，由于外部振動、樣品表面波動和粗糙度的影響，測量結果容易出現波動，因此不常用于測量液體樣品或未拋光的樣品。
激光干涉儀原理
激光干涉儀的原理是基于干涉原理。激光干涉儀將從單個激光光源發出的光分成兩個光路。這些分開的光路之一稱為“參考光路"，另一個稱為“測量光路"。
當被參考光路和測量光路分開的光重新組合時，就會發生光干涉。通過檢測干涉引起的亮度變化，可以測量光路長度和形狀的微小變化。
具體而言，當光發生干涉時，亮度會根據波的相位差而變化。如果相位差為0，則干涉 匹配，亮度最大。相反，如果相位差移動半個波長（180 度），干涉就會抵消，亮度就會最小化。
當其中一個測量光路的長度變化時，與參考光路產生相位差，通過檢測該相位差，可以高精度地測量測量目標的形狀和移動量。
激光干涉儀的特點
1.分析兩束光之間的相位差
如上所述，激光干涉儀根據兩束光束在設備內重疊時產生的干涉圖案來分析樣品的表面。光是波的一種，因此當兩個光波在彼此的波峰和波谷重疊時，波會變得更強，而當一個波在波峰和另一個波谷重疊時，波會被抵消。 。
這兩種光波之間的差異稱為相位差，當相位差等于光波長的倍數時，重疊的波變得更強。相反，當相位差等于光波長的1/2倍時，波被抵消。
2. 能夠測量1μm以下的微小厚度變化
激光干涉儀使用的光源波長約為630納米，因此即使光路發生幾百納米的微小變化也會改變干涉圖樣。因此，即使是1微米或更小的表面厚度的微小變化也可以使用激光干涉儀來檢測。
3. 振動對策
激光干涉儀的主要特點之一是可以進行非破壞性表面測量，因為樣品不太可能被激光變性。需要注意的是，激光干涉儀還容易受到實驗臺輕微振動的影響，因此設備必須安裝在隔振臺上，以保護其免受振動和沖擊。
