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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG1300MU
所在地：日本
貨物所在地：四川成都市
更新時間：2025/6/20 16:03:29
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Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG1300MU
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG1300MU
渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動量交換來實(shí)現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學(xué)家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運(yùn)動，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進(jìn)氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。
渦輪分子泵的核心優(yōu)勢
真空性能
可獲得10??mbar以上的超高真空
抽速曲線平坦，工作范圍寬
對輕質(zhì)氣體（如氫氣）抽速高
清潔無污染
無油，不會產(chǎn)生碳?xì)浠衔镂廴?/p>
適合潔凈敏感工藝
符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)
高效節(jié)能
比擴(kuò)散泵節(jié)能50%以上
快速啟動，縮短工藝周期
功率因數(shù)高
穩(wěn)定可靠
平均時間超過30000小時
抗突發(fā)大氣沖擊能力強(qiáng)
振動噪聲小
智能控制
變頻調(diào)速功能
實(shí)時狀態(tài)監(jiān)測
故障自診斷系統(tǒng)
在超高真空環(huán)境中，大部分殘留氣體是氫氣等輕質(zhì)氣體。 通過提高輕質(zhì)氣體的排氣性能，更容易獲得更好的真空環(huán)境。
如果在初始排氣中能獲得良好的真空環(huán)境，就可以在殘留氣體很少的情況下進(jìn)行制造過程，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量。
用
?開發(fā)
、制造
、加速器、同步輻射設(shè)備、核聚變研究等
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