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Osaka Vacuum大阪真空 磁浮軸承型渦輪分子泵 TG1307M
Osaka Vacuum大阪真空 磁浮軸承型渦輪分子泵 TG1307M
渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉葉片與氣體分子動量交換來實現抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學家貝克（W. Becker）研制成功，現已成為高真空和超高真空系統中最核心的抽氣設備之一。渦輪分子泵通過轉子葉片以超音速（通常300-600m/s）運動，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進氣口端產生高真空環境。
渦輪分子泵的顯著特點
（一）結構設計特征
多級渦輪葉片組（通常10-20級）
精密加工的鋁合金或鈦合金轉子
超精密軸承系統（陶瓷球軸承或磁懸浮軸承）
緊湊的模塊化設計
內置智能控制系統
（二）性能參數特點
工作壓力范圍：10?3至10?11mbar
壓縮比高達101?（對氮氣）
抽速范圍：10-5000L/s
啟動時間短（3-15分鐘）
（三）運行維護特點
需要前級泵（通常為旋片泵或干泵）支持
對振動和沖擊敏感
定期軸承維護要求
自動保護功能完善（過載、過熱等）
省電設計
運行數據、觸地計數、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數據。
各種通信規格：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT
國際標準：NRTL/SEMI-S2/CE
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