YF1801場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡采用熱場(chǎng)發(fā)射電子槍(SchottkyFEG)技術(shù)，電子光學(xué)鏡筒中融入了優(yōu)良的全鏡筒加速技術(shù)，確保了低加速電壓下電子束優(yōu)異的成像性能，適用于各類(lèi)材料的高分辨成像。多種探測(cè)器系統(tǒng)，能高效收集從樣品中激發(fā)出的的多種電子信號(hào)進(jìn)行成像，可揭示樣品的微觀形貌和結(jié)構(gòu)信息。

YF1801場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡產(chǎn)品五大優(yōu)勢(shì)

高分辨能力

完備的信號(hào)搜集檢測(cè)

流暢友好的使用體驗(yàn)

多功能集成控制面板

功能強(qiáng)大的分析測(cè)試平臺(tái)

產(chǎn)品特點(diǎn)

擴(kuò)展能力優(yōu)異

交互界面流暢簡(jiǎn)潔

用戶界面:

界面布局清晰簡(jiǎn)練

人體工學(xué)鍵盤(pán)設(shè)計(jì)

配備多種安全互鎖

操作簡(jiǎn)捷流暢

產(chǎn)品參數(shù)

核心參數(shù)

分辨率：15KV 1.0nm（SE）；1KV 1.5nm（SE）

加速電壓：0.02~30KV

放大倍率：1~2000000X

電子槍類(lèi)型：高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍

物鏡類(lèi)型：集成靜電透鏡和磁透射的復(fù)合物鏡

電子束流：1pA~20nA（100nA選配）

圖像分辨率：256*256~16k*16k

探測(cè)器及拓展

標(biāo)配：樣品室內(nèi)二次電子探測(cè)器；鏡筒內(nèi)二次電子探測(cè)器

選配：背散射電子探測(cè)器；掃描透射電子探測(cè)器；等離子清洗儀

樣品室

倉(cāng)庫(kù)：內(nèi)徑340mm，高度260mm；多附件接口，可加裝EBSD、EDS、CL等多種附件

樣品臺(tái)：五軸全自動(dòng)樣品臺(tái)；最大樣品重量2.5Kg；X、Y=125mm，Z=50mm，R=360°連續(xù)，T=-5~70℃

影像系統(tǒng)：雙攝像頭（光學(xué)導(dǎo)航、樣品室內(nèi)監(jiān)控）

軟件及圖像處理

語(yǔ)言：中文/英文

操作系統(tǒng)：Windows

自動(dòng)功能：自動(dòng)電子槍對(duì)中、自動(dòng)光纜對(duì)準(zhǔn)/磁帶消除、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散消除、自動(dòng)亮度對(duì)比度等

其他功能：分屏顯示、圖像注釋、圖像測(cè)量、圖像混合、大面積圖像采集和拼接、掃描旋轉(zhuǎn)、傾斜補(bǔ)償?shù)?/p>