關鍵詞：原子力顯微鏡，冷熱臺，

高性能和高性價比的科學研究級AFM

支持多種工作模式和多種功能模塊擴展，滿足絕大多數的基礎科研應用

開放式的結構設計，支持更多定制化的功能選擇

XYZ三軸獨立閉環壓電陶瓷掃描器，同時實現高精度的定位和高分辨掃描測量

閉環壓電陶瓷掃描測量無需非線性校正，納米表征和測量精度優于99.5%

應用行業：

半導體檢測：GaAs、InP、SiC、GaN、DRAM、MEMS等

生命科學、醫學、電學

材料、化學科學

失效分析

硬盤介質檢測

核聚變研究

量子計算

產品簡介：

超薄熱電冷熱臺，用于搭配原子力顯微鏡使用。

產品參數：

制冷方式：熱電制冷

溫度范圍：-10到 120℃

顯示精度：0.1℃

控溫精度：±0.1℃

樣品區域：34*34mm

最大加熱速率：20℃/min

最大冷卻速率：-20℃/min

觀察窗口大小：無

窗口個數：無

外觀尺寸：130*80*8mm

腔體凈重：0.2KG

真空度：無

備注：配水冷組件