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光學加工中的鍍膜工藝
閱讀：1722 發布時間：2021-1-21
光學加工中的鍍膜工藝
我們今天介紹離子輔助沉積技術在光學鍍膜的具體工藝。在鍍膜前先要用高能量的離子束對基片轟擊，到達基片表面的離子能量以不損傷基片表面粗糙度為大值，以凈化其表面，使表面沾污的碳氫化合物分解除去，同時使基底表面溫度升高，提供活化表面以利于薄膜成核。在鍍膜過程中，再用適當的荷能離子轟擊正在生長的薄膜，改變成膜條件。由于外來離子對凝聚中粒子的動量傳遞，使得膜料粒子在基底表面的遷移速率增加，并因此增加了粒子的凝結速率及生長速率，也加速了粒子的接合，導致薄膜的堆積密度加大，改善了薄膜的光機性能，大幅度的提高了膜層在基底上的附著力。
不同的離子源控制的工藝參數不同，其本質是相同的。都是通過不同的控制參數來達到終控制離子源的離子能量和束流密度的目的。離子能量與束流密度從不同角度反映了對薄膜傳遞能量的大小，其不同之處在于離子能量代表單個離子所具有的能量，而束流密度代表單位面積內離子的個數，多個離子的碰撞有累加效應，同樣會傳遞給薄膜原子能量。在一定范圍內，薄膜折射率隨離子能量和束流密度的增加而增加，消光系數則隨離子能量和束流密度的增加出現減小-增大-再減小-再增大的變換，變化量的值與波長密切相關。
離子能量對薄膜的折射率影響較大，而束流密度對薄膜的消光系數影響較大。
上海卷柔新技術光電有限公司是一家專業研發生產光學儀器及其零配件 的高科技企業，公司成立２００５年，專業的光電鍍膜公司，公司產品主要涉及光學儀器及其零配件的研發和加工；光學透鏡、反射鏡、棱鏡等光學鍍膜產品的開發和生產，為客戶提供上等的產品和服務。采用德國薄膜制備工藝，形成了一套具有嚴格工藝標準的閉環式流程技術制備體系，能夠制備各種超高性能光學薄膜，包括紅外薄膜、增透膜，ARcoating,激光薄膜、特種薄膜、紫外薄膜、x射線薄膜，應用領域涉及激光切割、激光焊接、激光美容、醫用激光器、紅外制導、面部識別、VR/AR應用,博物館，低反射櫥窗玻璃，畫框等