賀德克HYDAC壓力傳感器的基本原理

賀德克壓力傳感器信息融合技術的基本原理就像人的大腦綜合處理信息的過程一樣，將各種賀德克壓力傳感器進行多層次、多空間的信息互補和優化組合處理，zui終產生對觀測環境的一致性解釋。在這個過程中要充分地利用多源數據進行合理支配與使用，而信息融合的zui終目標則是基于各賀德克壓力傳感器獲得的分離觀測信息，通過對信息多級別、多方面組合導出更多有用信息。這不僅是利用了多個賀德克壓力傳感器相互協同操作的優勢，而且也綜合處理了其它信息源的數據來提高整個賀德克壓力傳感器系統的智能化。

壓力賀德克壓力傳感器是使用的一種賀德克壓力傳感器。傳統的平膜壓變壓力賀德克壓力傳感器以機械結構型的器件為主，以彈性元件的形變指示壓力，但這種結構尺寸大、質量重，不能提供電學輸出。隨著半導體技術的發展，半導體壓力賀德克壓力傳感器也應運而生。其特點是體積小、質量輕、準確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術的發展，半導體賀德克壓力傳感器向著微型化發展，而且其功耗小、可靠性高。

半導體壓電阻型

半導體壓電阻抗擴散壓力賀德克壓力傳感器是在薄片表面形成半導體變形壓力，通過外力（壓力）使薄片變形而產生壓電阻抗效果，從而使阻抗的變化轉換成電信號。

靜電容量型

靜電容量型壓力賀德克壓力傳感器，是將玻璃的固定極和硅的可動極相對而形成電容，將通過外力（壓力）使可動極變形所產生的靜電容量的變化轉換成電氣信號。（E8Y的動作原理便是靜電容量方式，其他機種采用半導體方式）。

無法避免誤差

在選擇壓力賀德克壓力傳感器的時候我們要考慮他的綜合精度，而壓力賀德克壓力傳感器的精度受哪些方面的影響呢?其實造成賀德克壓力傳感器誤差的因素有很多，下面我們注意說四個無法避免的誤差，這是賀德克壓力傳感器的初始誤差。

首先的偏移量誤差：由于壓力賀德克壓力傳感器在整個壓力范圍內垂直偏移保持恒定，因此變換器擴散和激光調節修正的變化將產生偏移量誤差。

其次是靈敏度誤差：產生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞增函數。如果靈敏度低于典型值，那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數。該誤差的產生原因在于擴散過程的變化。

第三是線性誤差：這是一個對壓力賀德克壓力傳感器初始誤差影響較小的因素，該誤差的產生原因在于硅片的物理非線性，但對于帶放大器的賀德克壓力傳感器，還應包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線，也可以是凸形曲線稱重賀德克壓力傳感器。

zui后是滯后誤差：在大多數情形中，壓力賀德克壓力傳感器的滯后誤差*可以忽略不計，因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。

壓力賀德克壓力傳感器的這個四個誤差是無法避免的，我們只能選擇高精度的生產設備，利用高新技術來降低這些誤差，還可以在出廠的時候進行一點的誤差校準，盡zui大的可能來降低誤差以滿足客戶的需要。

賀德克HYDAC壓力傳感器的基本原理