在電鏡電極真空系統中，需要經常檢查機械旋轉泵和油擴散泵的油面，一旦發現油面下降應及時加油。旋轉泵若缺油不僅會磨壞軸套上的油封圈，而且對旋片端頭和內腔壁也可能會造成*性的損傷，使極限真空度下降。用真空計檢查真空度是必要 的，但是隨著真空系統的自動化，有的電鏡為了降低成本，把某些真空計也省略掉 了。為了提高真空系統的可靠性，延長各部件的使用壽命，對以下各點多加留意，以便能及時發現異常情況，隨時做好維護和保養的措施。
(1) 電鏡電極在正常的偏置電壓和發射電流下工作，若燈絲的壽命變得越來越短，這很 可能是真空度已變差，改善的辦法是檢查各部件的運行情況，采取有針對性的措施 進行解決，如檢查真空系統的連接部位是否松動？查明原因，有的放矢，盡量提高電鏡真空系統的真空度。
(2) 電鏡電極若電子槍、襯管、光欄和樣品倉等部位的污染加快、加重，則意味著冷卻循環水的冷卻效果變差，有可能是冷卻水的壓力下降、水溫上升或管道內水垢增厚，這些都會導致制冷效果不良。此時要采取相應的解決辦法，如調高循環水的壓力或調低水溫、排除循環水通道中的堵塞滅清斷卻管道中的水鮮相應措施。
(3) 電鏡電極及時排出空壓機巾隨水，那不同實驗室環境難的大小，以及用氣量多少的不同，—般在南方地區春季約4?5周、夏季約6?7周、秋、冬季約8?9周排水一次。