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掃描電鏡全稱為掃描電子顯微鏡，是自上世紀60年代作為商用電鏡面世以來迅速發展起來的一種新型的電子光學儀器。由于它具有制樣簡單、放大倍數可調范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點，故被廣泛地應用于化學、生物、醫學、冶金、材料、半導體制造、微電路檢查等各個研究領域和工業部門。
掃描電鏡的制造是依據電子與物質的相互作用。當一束高能的入射電子轟擊物質表面時，被激發的區域將產生二次電子、俄歇電子、特征X射線和連續譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區域產生的電磁輻射。同時，也可產生電子-空穴對、晶格振動 (聲子)、電子振蕩 (等離子體)。原則上講，利用電子和物質的相互作用，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質的信息，如形貌、組成、晶體結構、電子結構和內部電場或磁場等等。掃描電子顯微鏡正是根據上述不同信息產生的機理，采用不同的信息檢測器，使選擇檢測得以實現。如對二次電子、背散射電子的采集，可得到有關物質微觀形貌的信息；對X射線的采集，可得到物質化學成分的信息。正因如此，根據不同需求，可制造出功能配置不同的掃描電子顯微鏡。
掃描電鏡在追求高分辨率、高圖像質量發展的同時，也向復合型發展，即成為把掃描、透射及微區成分分析、電子背散射衍射等結合為一體的復合型電鏡，實現了表面形貌、微區成分和晶體結構等多信息同位分析。近幾年隨著計算機、信息數字化技術的發展和在掃描電鏡上的應用，使得掃描電鏡的各種性能發生了新的飛躍，操作更加快捷，使用更加方便，是科學研究及至工業生產等許多領域應用的顯微分析儀器之一。
掃描電鏡的制造是依據電子與物質的相互作用。當一束高能的入射電子轟擊物質表面時，被激發的區域將產生二次電子、俄歇電子、特征X射線和連續譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區域產生的電磁輻射。同時，也可產生電子-空穴對、晶格振動 (聲子)、電子振蕩 (等離子體)。原則上講，利用電子和物質的相互作用，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質的信息，如形貌、組成、晶體結構、電子結構和內部電場或磁場等等。掃描電子顯微鏡正是根據上述不同信息產生的機理，采用不同的信息檢測器，使選擇檢測得以實現。如對二次電子、背散射電子的采集，可得到有關物質微觀形貌的信息；對X射線的采集，可得到物質化學成分的信息。正因如此，根據不同需求，可制造出功能配置不同的掃描電子顯微鏡。
掃描電鏡在追求高分辨率、高圖像質量發展的同時，也向復合型發展，即成為把掃描、透射及微區成分分析、電子背散射衍射等結合為一體的復合型電鏡，實現了表面形貌、微區成分和晶體結構等多信息同位分析。近幾年隨著計算機、信息數字化技術的發展和在掃描電鏡上的應用，使得掃描電鏡的各種性能發生了新的飛躍，操作更加快捷，使用更加方便，是科學研究及至工業生產等許多領域應用的顯微分析儀器之一。
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