在傳統的層流凈化臺,當手或材料被放置在罩內的顆粒可能污染工作區。由此產生的反沖洗,讓臟空氣進入該區域。
超凈工作臺氣流
在層流凈化臺無顆粒的空氣質量與氣流體積和速度的控制來實現的。任何阻礙將對層流性能顯著影響。障礙物包括處理或置于罩內或罩表面材料的工作。
障礙物引起的氣流中斷允許微粒進入工作區或潔凈室,大幅增加罩內的粒子計數。反沖洗是施加到未過濾室內空氣的進入工作區的總稱,當用戶將手或材料到工作區域可被創建。
高速回風插槽,可以限度地減少傳統超凈工作臺建設共同創建反粒子污染。空氣被吸入沿著工件表面的前邊緣和沿在1000 FPM側壁確保沒有未經過濾的空氣進入工作區位于該高速槽。這些槽從根本上減少顆粒數從通過引入工件或操作者的手進入工作流創建,因為他們在工作空間的所有前緣回收空氣反沖洗,并且再循環空氣通過HEPA過濾器,以減少顆粒數。插槽通過減少污濁空氣擴散進入過濾器進氣延長濾芯使用壽命。
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