激光誘導擊穿光譜（LIBS）是一種激光燒蝕光譜分析技術，激光聚焦在測試位點，當激光脈沖的能量密度大于擊穿閾值時，即可產生等離子體。基于這種特殊的等離子體剝蝕技術，通常在原子發射光譜技術中分別獨立的取樣、原子化、激發三個步驟均可由脈沖激光激發源一次實現。等離子體能量衰退過程中產生連續的軔致輻射以及內部元素的離子發射線，通過光纖光譜儀采集光譜發射信號，分析譜圖中元素對應的特征峰強度即可以用于樣品的定性以及定量分析。

　　自從1960年*臺紅寶石激光器的發明為原子光譜分析注入新鮮血液之后，類似于火花源的激光光束聚焦擊穿現象即見諸文獻報道。1962年Jarrell-Ash的Brech發表*篇關于用激光產生等離子體進行分析的文章，標志著激光燒蝕分析技術的誕生。1964年，得益于激光器Q開關脈沖技術，使得激光燒蝕無需通過輔助電極放電，直接通過激光產生等離子體進行分析，這也是今天LIBS的雛形。至20世紀80年代，美國Los Alamos實驗室利用激光等離子體的光譜信息實現了對于物質元素信息的測量，從而將該技術正式命名為LIBS (Laser Induced Breakdown Spectroscopy)。本世紀分析領域的一大新聞就是美國NASA采用LIBS技術作為火星車表面礦物分析手段——ChemCam，并地完成了科考任務。因而，LIBS技術的應用也相應地成為了一大研究熱門。

與其他常用元素分析的方法相比，其主要優點有:

　　(1) 利用激光*的性能，可實現遠程、實時、在線元素檢測。

　　(2) 儀器體積相對較小，適用于現場分析、可在惡劣條件下進行測定。

　　(3) 可用于各種形態的固體、液體甚至氣體分析，而且無需繁瑣的樣品前處理過程，分析簡便、快速。

　　(4)可測定難溶解的高硬度材料，對樣品尺寸要求不嚴格，且對樣品的破壞性小，實現微損甚至近于無損檢測，樣品消耗量極低(約0.1μg-0.1mg)。

　　(5) 分析時間短，從激光脈沖發射到信號收集的整個過程僅僅需要毫秒級別的時間。

　　(6) 可進行多元素同時檢測。