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ICP光譜儀是當前光譜分析中zui迅速zui靈敏的一種儀器。
ICP光譜儀三大主要部分：
一是激光光譜的光源；
二是光譜儀系統(tǒng)，使不同波長的光聚焦在儀器上的特定位置。
三是用置于焦點上的探測器來量光的強度。近代的光譜儀大都采用微型計算機處理實驗結果。
它是將成分復雜的光分解為光譜線的科學儀器。它密封在一個溫度穩(wěn)定的恒溫機箱里，設計小巧，操作簡易，設備的搬運和操作只要一個人就能完成。
它具有樣品用量少，應用范圍廣且快速，靈敏和選擇性好等特點。
ICP光譜儀包括以下幾個主要部分：
1、入射狹縫: 在入射光的照射下形成光譜儀成像系統(tǒng)的物點。
2、準直元件: 使狹縫發(fā)出的光線變?yōu)槠叫泄狻Ｔ摐手痹梢允且华毩⒌耐哥R、反射鏡、或直接集成在色散元件上，如凹面光柵光譜儀中的凹面光柵。
3、色散元件: 通常采用光柵，使光信號在空間上按波長分散成為多條光束。
4、聚焦元件: 聚焦色散后的光束，使其在焦平面上形成一系列入射狹縫的像，其中每一像點對應于一特定波長。
5、探測器陣列：放置于焦平面，用于測量各波長像點的光強度。該探測器陣列可以是ccd陣列或其它種類的光探測器陣列。
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