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多道x射線熒光光譜儀有兩種基本類型：波長色散型(WD)和能量色散型(ED)。波長色散型是由色散元件將不同能量的特征X射線衍射到不同的角度上，探測器需移動到相應的位置上來探測某一能量的射線。而能量色散型，去掉了色散系統，是由探測器本身的能量分辨本領來分辨探測到的X射線的。波長色散型能量分辨本領高，而能量色散型可同時測量多條譜線，目前，能量色散型X射線熒光光譜儀主要用于元素篩選分析。
多道X射線熒光光譜儀軟件優點：
1 、自主研發的X 熒光分析儀軟件系統，使儀器可以作為OPC SERVER 與OPC 構架的DCS 系統或QCX 系統實現無縫連接；也可配置為QCX 服務器。
2 、采用全中義操作界面，使儀器操作簡單方便。
3 、采用的全譜檢測技術，實現了各道譜線的即時跟蹤和校正，從而大大提高了定量分析的重現性和穩定性，同時也提供了診斷儀器工作狀態的直觀依據。
4 、備有經驗系數法和理淪a系數法兩種定量分析軟件。其中理論a 系數法軟件在定量分析性的條件下可以大大減少標樣數量。
5 、分析數據處理，線性擬合，各種基體校正；
6 、在分析值的基礎上進行特性率值的計算：
7 、人機對話，對各種參數進行設定和修改；
8 、分析數據和報告輸出方便及時；
9、完善的自診斷措施。
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