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臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器。根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為光電式、電感式和壓電式三種。今天就給大家介紹下臺階儀的產(chǎn)品特點。
光電式臺階儀是利用光電元件接收透過狹縫的光通量變化來檢測位移量的變化;電感式采用電感位移傳感器作為敏感元件，性價比高，測量精度高、但處理電路稍復雜;壓電式的位移敏感元件為壓電晶體，其結(jié)構(gòu)簡單，靈敏度高，但傳感器低頻響應不好、且容易漏電造成測量誤差。
臺階儀產(chǎn)品特點為：量程大，測量精度較高，重復性好，測量結(jié)果穩(wěn)定可靠，還可以作為其它形貌測量技術(shù)的比對;另外，測頭的硬度一般都很高，為使測頭不至很快磨損，不要用于軟質(zhì)表面和精密零件的測量;測件和測頭接觸時會造成測頭磨損和變形，使用一段時間后測量精度下降;測頭為了保證剛性和耐磨性而不能做得非常細小和尖銳，否則會造成測量數(shù)據(jù)的偏差。該儀器是集合了共焦光學形貌儀，WLI白光干涉形貌儀，原子力顯微鏡，接觸和非接觸式雙模式表面形貌檢測。
光電式臺階儀是利用光電元件接收透過狹縫的光通量變化來檢測位移量的變化;電感式采用電感位移傳感器作為敏感元件，性價比高，測量精度高、但處理電路稍復雜;壓電式的位移敏感元件為壓電晶體，其結(jié)構(gòu)簡單，靈敏度高，但傳感器低頻響應不好、且容易漏電造成測量誤差。
臺階儀產(chǎn)品特點為：量程大，測量精度較高，重復性好，測量結(jié)果穩(wěn)定可靠，還可以作為其它形貌測量技術(shù)的比對;另外，測頭的硬度一般都很高，為使測頭不至很快磨損，不要用于軟質(zhì)表面和精密零件的測量;測件和測頭接觸時會造成測頭磨損和變形，使用一段時間后測量精度下降;測頭為了保證剛性和耐磨性而不能做得非常細小和尖銳，否則會造成測量數(shù)據(jù)的偏差。該儀器是集合了共焦光學形貌儀，WLI白光干涉形貌儀，原子力顯微鏡，接觸和非接觸式雙模式表面形貌檢測。
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