CVD管式爐的分類以及使用注意事項說明

來源：天津中環(huán)電爐股份有限公司 2017年11月22日 15:26

　　CVD管式爐分為：真空，開啟式，高溫，氣氛，快速升溫，多溫區(qū)，立式，高溫高壓，實驗等等。

　　爐使用注意事項：

　　1. 冷爐使用時，由于管式爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過快，各溫度段的升溫速率差別不易太大，設置升溫速率時應充分考慮所燒結材料的物理化學性質，以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象，污染爐管。

　　2. 定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好，應特別注意加熱元件的各連接點的連接是否緊固。

　　3.CVD管式爐使用或長時間不用后，要在120℃左右烘烤1小時，在300℃左右烘烤2小時后使用，以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內的清潔。

　　4. 爐膛若采用石英管，當溫度高于1000℃時，石英管的高溫部分會出現(xiàn)不透明現(xiàn)象，這叫失透是連熔石英管的一個固有缺陷，屬正常現(xiàn)象。

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