高精度反射鏡的玻璃材料
在溫度劇烈變化的環境下使用面型精度較高的反射鏡時,反射鏡的面型精度有時會產生變化。
這是由于反射鏡的玻璃基板上產生溫度分布,溫度高的部分和低的部分膨脹的數量不同。因此,需要高精度反射鏡時,基板需要使用低膨脹材料。
一般經常使用石英玻璃(熱膨脹系數5.5×10-7/℃),但是要求更高精度時,使用低膨脹玻璃或被稱為零膨脹玻璃的材料。
高精度反射鏡的玻璃材料-微晶玻璃®
是在低膨脹玻璃中混有膨脹系數為負的晶體的晶體化玻璃,在0℃?50℃的溫度范圍內膨脹系數可以降低到±1×10−7/℃。
由于晶體的散射導致玻璃變得模糊不清,玻璃中的光線將會被衰減。
由于比較容易加工,容易拋光,常被用于大型的反射鏡中。
微晶玻璃®是SCHOTT AG的注冊商標。
波長 [nm] | 折射率 |
486.1 | 1.5491 |
587.6 | 1.5424 |
656.3 | 1.5394 |
透過波長譜區域 | 0.4 ? 2.5µm |
表面反射 | 4.6%(587.6nm) |
密度 | 2.53g/cm3 |
高精度反射鏡的玻璃材料CLEARCERAM®-Z
玻璃中析出負膨脹系數微小晶體的零膨脹的晶體化玻璃。
在0℃?50℃的溫度范圍內膨脹系數可以降低到±1×10−7/℃。
由于玻璃內部是透明的,可以通過光線。具有良好的導熱性質,機械性質,化學性質,可用于激光反射鏡或樣板塊規。
CLEARCERAM®是株式會社小原的注冊商標。
折射率 | 1.546(587.6nm) |
透過波長譜區域 | 0.4 ? 2.5µm |
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