現在制備超純水的方法是將各種純化水的新技術科學地結合起來，不僅能生產超純水，而且變得非常容易。目前市售的 超純水機 就是一個成功的例子。自來水進去超純水出來，非常方便。而且使用壽命也越來越長。

超純水機制備超純水的原理和步驟大體如下：
1、原水：可用自來水或普通蒸餾水或普通去離子水作原水。
2、機械過濾：通過砂芯濾板和纖維柱濾除機械雜質，如鐵銹和其他懸浮物等。
3、活性炭過濾：活性炭是廣譜吸附劑，可吸附氣體成分，如水中的余氯等；吸附細菌和某些過渡金屬等。**能損害反滲透膜，因此應力求除盡。
4、反滲透膜過濾：可濾除95%以上的電解質和大分子化合物，包括膠體微粒和病毒等。由于絕大多數離子的去除，使離子交換柱的使用壽命大大延長。
5、紫外線消解：借助于短波（180nm-254nm）紫外線照射分解水中的不易被活性炭吸附的小有機化合物，如甲醇、乙醇等，使其轉變成CO2和水，以降低TOC的指標。