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去離子水設備，簡單的解釋就是將水中的離子（鈉離子、鉀離子、鈣離子、鎂離子、氯離子、硫酸根離子、重碳酸根離子、硅等）去除去，使水的電導率降低，電阻率升高。
工藝大致可分為四種：
1、采用陽陰離子交換樹脂取得的去離子水，一般通過之后，出水電導率可降到10us/cm以下，再經過混床就可以達到1us/cm以下了。但是這種方法做出來的水成本*，而且顆粒雜質太多，達不到理想的要求。用離子交換樹脂其優點在于初投資少，占用的地方少，但缺點就是需要經常進行離子再生，耗費大量酸堿，而且對環境有一定的破壞性。
2、預處理（即砂碳過濾器+精密過濾器）+反滲透+混床工藝，這種方法是目前采用zui多的，因為反滲透投資成本也不算高，可以去除90%已上的水中離子，剩下的離子再通過混床交換除去，這樣可使出水電導率：0.06左右。
3、采用兩級反滲透方式，其流程如下： 自來水→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→精密過濾器→一級反滲透→PH調節→混合器→二級反滲透（反滲透膜表面帶正電荷）→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點 ，其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高，但無須樹脂再生。其缺點在于相關膜原件需定期清洗或更換，水質相對來說不是太高，大都只能做到1us/cm左右。
4、前處理與第二種方法一樣使用反滲透，只是后面使用的混床采用EDI連續除鹽膜塊代替，這樣就不用酸堿再生樹脂，而是用電再生。這就*使整個過程無污染了，經過處理后的水質可達到：15M以上。其流程如下： 原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→PH值調節系統→混合器→精密過濾器→反滲透→中間水箱→EDI水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點 ，這是目前制取超純水，zui環保的超純水制備工藝，不需要用酸堿進行再生便可連續制取超純水，對環境沒什么破壞性。
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