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x熒光測厚儀的原理：
若一個電子由軌道游離，則其他能階的電子會自然的跳至他的位置，以達到穩定的狀態，此種不同能階轉換的過程可釋放出能量，即X-射線。因為各元素的每一個原子的能階均不同，所以每一元素軌道間的能階差也不同相同。
若一個電子由軌道游離，則其他能階的電子會自然的跳至他的位置，以達到穩定的狀態，此種不同能階轉換的過程可釋放出能量，即X-射線。因為各元素的每一個原子的能階均不同，所以每一元素軌道間的能階差也不同相同。
原子的特性由原子序來決定，亦即質子的數目或軌道中電子的數目，即特定的X-射線能量與原子序間的關系。K輻射較L輻射能量高很多，而不同的原子序也會造成不同的能量差。
特定的X-射線可由比例計數器來偵測。當輻射撞擊在比例器后，即轉換為近幾年的脈波。電路輸出脈沖高度與能量撞擊大小成正比。由特殊物質所發出的X-射線可由其后的鑒別電路記錄。
使用X-射線熒光原理測厚，將被測物置于儀器中，使待測部位受到X-射線的照射。此時，特定X-射線將由鍍膜、素材及任何中間層膜產生，而檢測系統將其轉換為成比例的電信號，且由儀器記錄下來，測量X-射線的強度可得到鍍膜的厚度。
在有些情況，如：印刷線路板上的IC導線，接觸針及導體的零件等測量要求較高 ,一般而言，測量鍍膜厚度基本上需符合下述的要求：
1.不破壞的測量下具高精密度。
2.極小的測定面積。
3.中間鍍膜及素材的成份對測量值不產生影響。
4.同時且互不干擾的測量上層及中間鍍膜 。
5.同時測量雙合金的鍍膜厚及成份。
而X-射線熒光法就可在不受素材及不同中間膜的影響下得到高精密度的測量。
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