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高真空氣氛爐一般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統、供電系統和控溫系統等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止爐殼受熱后變形和密封材料受熱變質，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內。
根據高真空氣氛爐用途,爐膛內部裝有不同類型的加熱元件,如電阻、感應線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的高真空氣氛爐爐膛內裝有坩堝，有的還裝有自動澆注裝置和裝卸料的機械手等。真空系統主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。
高真空氣氛爐特點
1、控制精度：±1℃爐溫均勻度：±1℃(根據加熱室大小而定)。
2、操作方便，可編程，PID自整定、自動升溫、自動保溫、自動降溫，無需值守；可另配與計算機通訊通過計算機操作電爐（啟動電爐、停止電爐、暫停升溫、設定升溫曲線、升溫曲線儲存、歷史曲線等）。
3、升溫快（升溫速率1℃/h至40℃/min可調）。
4、節能（爐膛采用進口纖維制作而成，耐高溫、耐急熱急冷)。
5、爐體經精致噴塑耐腐蝕耐酸堿，爐體與爐膛隔離采用風冷爐壁溫度接近室溫。
6、雙回路保護（超溫、超壓、超流、段偶、斷電等）。
7、爐膛材料進口耐火材料，保溫性能好，耐溫高，耐急冷急熱。
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