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安捷倫ICP-MS利用氬等離子體產生的高溫使用試樣*分解形成激發態的原子和離子，由于激發態的原子和離子不穩定，外層電子會從激發態向低的能級躍遷，因此發射出特征的譜線。通過光柵等分光后，利用檢測器檢測特定波長的強度，光的強度與待測元素濃度成正比。
安捷倫ICP-MS具有如下優點：
1. 因為ICP光源具有良好的原子化、激發和電離能力，所以它具有很好的檢出限。對于多數元素，其檢出限一般為0.1～100ng/ml。
2. 因為ICP光源具有良好的穩定性，所以它具有很好的精密度，當分析物含量不是很低即明顯高于檢出*，其RSD一般可在1%以下，好時可在0.5%以下。
3. 因為ICP發射光譜法受樣品基體的影響很小，所以參比樣品無須進行嚴格的基體匹配，同時在一般情況下亦可不用內標。
4、ICP光譜儀對多元素同時測定，易可對未知元素進行定性和定量分析。
安捷倫ICP-MS一定要有良好的使用環境
等離子體光譜與其它大型精密儀器一樣，需要在一定的環境下運行，失往這些條件，不僅儀器的使用效果不好，而且改變安捷倫ICP-MS的檢測性能，甚至造成損壞，縮短壽命。
根據光學儀器的特點，對環境溫度和濕度有一定要求。假如溫度變化太大，光學元件受溫度變化的影響就會產生譜線漂移，造成測定數據不穩定，一般室溫要求維持在20～25攝氏度間的一個固定溫度，溫度變化應小于±1攝氏度。而環境濕度過大，光學元件，特別是光柵輕易受潮損壞或性能降低。
電子系統，尤其是印刷電路板及高壓電源上的元件輕易受潮燒壞。濕度對高頻發生器的影響也十分重要，濕度過大，輕則等離子體不輕易點燃，重則高壓電源及高壓電路放電擊毀元件，如功率管隔直陶瓷電容擊穿，輸出電路阻抗匹配、網絡中的可變電容放電等，以至損壞高頻發生器。
一般室內濕度應小于百分之70，控制在百分之45～60之間，應有空氣凈化裝置。過往由于基建施工，我們的環境條件很差，甚至儀器室多次被水淹，受潮及室溫變化過大，儀器不是定位困難就是經常發生故障。
搬到新的儀器室后條件改善了，儀器運行就正常多了。
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