1)檢查激發點好壞，激發點不好無法給出穩定的數據。

2)檢查分析表面是否平整，激發聲音是否異常。

3)檢查氬氣的質量。使用氬氣凈化器的情況下，請檢查凈化器是否失效，失效的氬氣凈化器將嚴重影響氬氣的質量，請將凈化器再生或在氣路上短接后，重新打點，沒有使用凈化器的情況下，請更換氬氣，以判斷氬氣質量是否有問題。

4)檢查電極與樣品之間的距離是否為3毫米，用量規測量。

5)清理激發臺，排除污染物對分析的影響。

6)進行狹縫校正。

7)進行疲勞燈試驗，從數據的穩定性如何，可以判斷儀器光電系統是否能夠穩定工作。注意，疲勞燈在工作半小時后，才能給出穩定的光強。

使用標樣分析比對是佳方法。在沒有標樣的情況下，可使用SUS標樣進行分析，結果同QA/QC報告進行比對。進行比對之前必須注意：檢查儀器是否穩定。室溫在20℃以上，開機、通氬氣6小時以上可以認為達到穩定狀態。必須進行漂移校正。