原子熒光光譜儀的分析方法：
　　物質吸收電磁輻射后受到激發，受激原子或分子以輻射去活化，再發射波長與激發輻射波長相同或不同的輻射。當激發光源停止輻照試樣之后，再發射過程立即停止，這種再發射的光稱為熒光；若激發光源停止輻照試樣之后，再發射過程還延續一段時間，這種再發射的光稱為磷光。熒光和磷光都是光致發光。
　　原子熒光光譜分析法具有很高的靈敏度，校正曲線的線性范圍寬，能進行多元素同時測定。這些優點使得它在冶金、地質、石油、農業、生物醫學、地球化學、材料科學、環境科學等各個領域內獲得了相當廣泛的應用。
　　原子熒光光譜儀優點：
　　有較低的檢出限，靈敏度高。特別對Cd、Zn等元素有相當低的檢出限，Cd可達0．001ng·cm-3、Zn為0.04ng·cm-3?，F已有2O多種元素低于原子吸收光譜法的檢出限。由于原子熒光的輻射強度與激發光源成比例，采用新的高強度光源可進一步降低其檢出限。
　　干擾較少，譜線比較簡單，采用一些裝置，可以制成非色散原子熒光分析儀。這種儀器結構簡單，價格便宜。
　　分析校準曲線線性范圍寬，可達3～5個數量級。
　　由于原子熒光是向空間各個方向發射的，比較容易制作多道儀器，因而能實現多元素同時測定。