X-射線熒光光譜儀(XRF)是一種較新型可以對多元素進行快速同時測定的儀器。在X射線激發下，被測元素原子的內層電子發生能級躍遷而發出次級X射線(即X-熒光)。波長和能量是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。

波長色散型X射線熒光光譜儀(WD-XRF)，是用晶體分光而后由探測器接收經過衍射的特征X射線信號。如果分光晶體和控測器作同步運動，不斷地改變衍射角，便可獲得樣品內各種元素所產生的特征X射線的波長及各個波長X射線的強度，可以據此進行定性和定量分析。

能譜色散型X熒光光譜儀(ED-XRF)，用X射線管產生原級X射線照射到樣品上，所產生的特征X射線(熒光)直接進入半導體探測器，便可以據此進行定性分析和定量分析。

由于普通能量色散X熒光采用低功率X射線管，又采用濾光片扣除背景和干擾，其背景偏高，分辨率偏小，使得應用范圍受到限制，特別是在輕元素的分析受到限制。隨之X射線偏振器的誕生，產生了一款新型的能量色散X熒光光譜儀，既偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF，再加上SDD探測器的使用，不僅提高了(相對使用正比計數管和Si(PIN)探測器的儀器)的分辨率，免去Si(Li)探測器使用液氮冷卻的繁瑣和危險，了原來普通能量色散X熒光的輕元素檢出限高，分辨率差的缺陷，又使得(相對波長色散X熒光用戶)購買和使用X熒光儀器的成本大大減低，這使得偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF在分析領域的迅猛發展，越來越受到廣泛關注。
 

WD-XRF與ED-XRF的簡明比較

項目	偏振式能量色散X熒光	波長色散型X熒光	普通能量色散型X熒光
原理	X熒光經次級偏振靶使X射線產生偏振（提高信噪比）后，進入檢測器，經電子學系統處理得到不同元素（不同能量）的X熒光能譜	X熒光經晶體分光，在不同衍射角測量不同元素的特征線	X熒光直接進入檢測器，經電子學系統處理得到不同元素（不同能量）的X熒光能譜
結構	無掃描機構，只用一個檢測器和多道脈沖分析器，結構簡單得多，無轉動件，可靠性高	為滿足全波段需要，配置多塊晶體，根據單道掃描和多道同時測定的需要，設置掃描機構和若干固定通道	無掃描機構，只用一個檢測器和多道脈沖分析器，結構簡單得多，無轉動件，可靠性高
X光管	功率低，不需冷卻水，X光管壽命長	高功率，要高容量冷卻系統，X光管壽命短	功率低，不需冷卻水，X光管壽命長
檢測器	SDD	正比計數器，和λ、晶體、檢測器有關	Si(pin)
靈敏度	ug/g級	Ug/g級	輕基體ug/g級，其它10～102ug/g級
度	取決于標樣	取決于標樣	取決于標樣
精密度	好	很好	低濃度時不如WD
系統穩定性	好，工作曲線可長時間使用	需作周期性漂移校正，定期作工作曲線	好，工作曲線可長時間使用
方便性	好	一般	好
分析速度	快	單道慢，多道快	快
人員要求	一般	較高	一般
樣品表面	要求不高	要求平坦	要求不高
價格	￥60～100萬/臺	￥120～250萬/臺（其中單道￥120～180萬/臺）	￥30～70萬/臺
測定元素范圍	11Na～92U	5B～92U	11Na～92U