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熒光光譜儀是較新型X射線熒光光譜儀，具有重現性好，測量速度快，靈敏度高的特點。能分析F(9)~U(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業樣品。無標半定量方法可以對各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結果，結果度對某些樣品可以接近定量水平，分析時間短。薄膜分析軟件能作鍍層分析，薄膜分析。
熒光光譜儀維修的注意事項及要點
一、熒光光譜儀射線管的維護
1.避免碰撞
2.不能用手直接觸摸鈹窗，金屬鈹（Be）對X射線吸收性能很差，但鈹窗很薄很脆，所以要小心維護，一旦鈹窗被塵埃污染，可用軟毛刷（羊毫毛筆）小心輕拂；若有油污等污物，可用脫脂棉蘸取有機溶劑如無水乙醇、三氯甲烷等小心輕拭。鈹、氧化鈹有毒，具有鈹的垃圾不能亂扔，破鈹窗要小心處理。
3.射線管的電源為高壓電源，要注意防潮，以免漏電；電纜頭上要抹上耐電壓的絕緣油脂。
4.使用封閉式X射線管時，要注意通冷卻水，但存放時一定要把管內的殘留冷卻水排盡，并保持溫度高于-9℃。
5.檢查射線管的老化和注意kV-mA的限制初用管，30天后用管都要繪制kV-時間曲線，檢查管子是否老化；繪制kV-mA曲線，檢查管子kV與mA的關系，找到大值，以便進行kV-mA限制。
二、熒光光譜儀分光晶體的維護與修復
1.恒溫分光晶體對溫度的變化較敏感，不同環境溫度下，晶體面間距值的變化會引起譜線的位移，在實際工作中，要求晶體室溫的變化在±0.5℃內。
2.防潮分光晶體很脆，金屬鹽類的晶體如NaCl、LiF，都具有潮解性，不用時應存放在干燥器中；常用的分光晶體也要定期檢查，TAP晶體的表面容易產生“白濁”，這時不能使用了。
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