通過使用µsoft測量軟件，客戶可以輕松對數據進行分析并將其圖形化。這點已經在眾多實驗室應用中得到證明。µsoft測量軟件是NanoFocus激光共聚焦顯微鏡測量儀器的標準配置。
軟件主界面分為三個部分，這保證了客戶在分析過程中能夠隨時找到所需信息。得益于軟件操作便捷和導航式菜單設計，客戶只需要稍加培訓即可上手操作。µsoft集成設備控制功能；因此，同一軟件即可完成從測量到分析的全過程。
提供符合標準的各種參數算法可用于編輯測量數據，如校平，根據角度和信號強度進行數據過濾以及各種濾波器和插值技術。軟件包含二維粗糙度（Ra，Rq等）及其派生的三維粗糙度（Sa，Sq等）。位移、位置、高度、角度、形狀和面積的測量可以直接在2D視圖或剖面圖中進行。
測量結果包含高度和反射強度數據。軟件支持各種顯示模式并且支持快速切換，例如三維形貌、輪廓剖面、照片模擬和三維投影。客戶可以根據需求建立分析模板，后續通過簡單調用即可實現重復分析功能。
通過調整光線強度和角度可以實現對各種樣品的上佳化展示；這意味著無論其表面結構和材質如何，客戶都能得到上佳的表面顯示效果。