μsurf solar可以選配微分干涉 (DIC,微分干涉像差顯微技術(shù))用于再現(xiàn)金字塔的角度變化及快速檢測(cè)晶片上的臟污和缺陷。與通過(guò)硬件實(shí)現(xiàn)DIC功能相比，由NanoFocus 3D形貌測(cè)量開發(fā)的實(shí)現(xiàn)軟件DIC具備眾多優(yōu)點(diǎn):如使用方便，可同時(shí)顯示不同角度和方向，不受高度范圍限制等。
運(yùn)用新算法的區(qū)域測(cè)量能夠提供穩(wěn)定和可重復(fù)的3D數(shù)據(jù)。通過(guò)結(jié)合高度和反射強(qiáng)度數(shù)據(jù)，可以地確定邊緣，從而可以以納米級(jí)精度測(cè)量手指的高度和寬度。為了進(jìn)一步提高測(cè)量效率，測(cè)量系統(tǒng)可以選配針對(duì)太陽(yáng)能行業(yè)的便捷自動(dòng)化軟件。
應(yīng)用
μsurf solar無(wú)需制備樣品即可進(jìn)行無(wú)損測(cè)量分析,這使得μsurf solar不僅適合在實(shí)驗(yàn)室使用，還適合于生產(chǎn)環(huán)境。對(duì)于μsurf solar，產(chǎn)品表面是否具有蝕刻結(jié)構(gòu)或抗反射涂層并不會(huì)影響測(cè)量結(jié)果;此外，對(duì)于具有諸如陡峭的邊緣、納米范圍復(fù)雜幾何形狀和結(jié)構(gòu)等棘手特征的樣品，μsurf solar在幾秒鐘內(nèi)即可提供且可重復(fù)的3D測(cè)量數(shù)據(jù)。
金字塔結(jié)構(gòu)
μsurf solar自動(dòng)確定金字塔的分布、角度、高度、數(shù)量和同質(zhì)性。