結(jié)合高溫真空氣氛爐的實驗工藝要求進行的操作過程

來源：弗爾德（上海）儀器設(shè)備有限公司 2019年01月28日 11:57

　　高溫真空氣氛爐的操作規(guī)程詳解

　　1．打開高溫真空氣氛爐爐門取出隔熱屏，放入處理物品于高溫區(qū)內(nèi)，再將隔熱屏放好，關(guān)閉爐門鎖緊，并關(guān)好所有閥門。

　　2．接通氣氛管式爐電源，打開循環(huán)水。

　　3．高溫真空氣氛爐操作使用方法：

　　①開機械泵，開真空閥，抽真空至真空壓力表達到-0.1mPa后關(guān)閉真空閥。

　　②開保護氣體減壓閥，開真空閥，對爐膛充氣，使真空壓力表回至“0”后，關(guān)閉真空閥。

　　③重復(fù)步驟①和②三次，使?fàn)t膛內(nèi)的空氣被排盡。

　　④關(guān)機械泵。對爐膛充氣使真空壓力表回至“0”后，打開放氣閥，調(diào)節(jié)微調(diào)閥，使氣體流量穩(wěn)定，出氣端水泡連續(xù)。

　　⑤對爐膛進行加溫，應(yīng)按“調(diào)節(jié)儀”進行，結(jié)合實驗工藝要求操作。

　　⑥實驗結(jié)束，爐子溫度降至實驗工藝要求范圍后，先關(guān)閉放氣閥，在關(guān)閉真空閥，關(guān)微調(diào)閥和氣體減壓閥。

　　⑦關(guān)閉總電源、循環(huán)水（一般爐溫小于60℃，關(guān)閉循環(huán)水）。

　　高溫真空氣氛爐的注意事項：

　　1、清化jia(KCN)不可與酸類混置，因兩者可產(chǎn)生劇毒之KCN氣體。

　　2、除了做實驗外，不要停留在高溫爐管區(qū)。

　　3、一旦發(fā)現(xiàn)有妨礙安全之事物時，請立即通知有關(guān)人員(技術(shù)員等)。

　　4、請節(jié)約純水用量。

　　5、實驗工作完畢時，若無人繼續(xù)使用，請關(guān)特殊氣體，保留N2流動，爐管保持在standby溫度，并查看是否有其它電源該關(guān)而沒有關(guān)，如:cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它，請隨手關(guān)掉。

　　6、處理HF時，請戴手套，如不小心碰到HF時，請立刻沖水，用葡萄酸鈣加2%之水，揉擦傷處15'。

　　7、長短推桿之前端，在還沒使用到時，請朝上以免污染。

　　8、晶片進出爐口時，承接boat的holder，請勿碰觸爐管口，以免污染爐管。

　　9、石英玻璃制品請小心使用，以免破裂，引起嚴(yán)重割傷。

　　10、避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。

　　11、破晶片、濾紙、棉花棒等，請勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板漬水。

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