基于NanoFocus CMP技術（共焦多針孔）的魯棒μsurf傳感器技術。在幾秒鐘內，獲得微觀和納米范圍內的形貌、粗糙度和層厚度。
SURF技術的功能原理
        NanoFocus共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多針孔盤、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。LED源通過多針孔盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光。反射光通過MPD的針孔減小到聚焦的部分，這落在CCD相機上。來自傳統光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節。相反，在共焦圖像中，通過多針孔盤的操作濾除模糊細節（未聚焦）。只有來自焦平面的光到達CCD相機。因此，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高分辨率。
         每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片。在不同的焦點高度捕獲圖像產生這樣的圖像的堆疊，通過共焦顯微鏡通過壓電驅動器通過物鏡的垂直位移來實現。200到400個共焦圖像通常在幾秒內被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建的三維高度圖像。
優勢
μsurf粗糙度輪廓儀測量技術在微米和納米范圍的技術表面表征方面具有許多優點。
與SEM（X，Y）相反，μSURF提供真實三維坐標（x，y，z）中的數據。只有這種定量數據能夠地分析3D表面參數，從而提供關于表面紋理的更大范圍的信息。μSurf系統的測量不需要以前的樣品制備。
在許多工業部門中，標準的測量方法是觸覺掃描。國家標準與技術研究所（NIST）的獨立第三方研究表明，μSURF技術達到觸覺系統的高相關性（99%）。另外，被檢查材料的硬度的差異是不相關的，因為系統在沒有接觸和破壞表面的情況下工作。

粗糙度輪廓儀測量儀價格國產跟進口相差略大，具體報價都是根據測量應用配置來定的一般1-100萬左右，具體請詳詢！