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等離子體發射光譜研究是了解放電條件下氣體狀態的有效手段和用于無干擾診斷等離子體狀態參數的方法。它為研究不同實驗參數下的等離子體行為提供了一種很好的方法。通過采集射頻磁控濺射過程中等離子體發射光譜，可以計算出電子密度和電子溫度，并且能夠分析濺射功率、工作壓強等實驗參數對等離子體狀態的影響。
AvaSpec Multi-channel系列等離子體光譜儀基于Avantes公司的AvaBench-75光學平臺，采用模塊化設計，可以配置成單通道、雙通道、四通道或多通道（可達10個通道）。每個通道可以設置不同的積分時間或信號平均次數，且各通道同步采集。等離子體光譜儀有兩種規格型號，AvaSpec-ULS2048-x-USB2和AvaSpec-ULS3648-x-USB2(x代表通道數)。
AvaSpec Multi-channel系列等離子體光譜儀基于Avantes公司的AvaBench-75光學平臺，采用模塊化設計，可以配置成單通道、雙通道、四通道或多通道（可達10個通道）。每個通道可以設置不同的積分時間或信號平均次數，且各通道同步采集。等離子體光譜儀有兩種規格型號，AvaSpec-ULS2048-x-USB2和AvaSpec-ULS3648-x-USB2(x代表通道數)。
AvaSpec-ULS2048光譜儀在接受外觸發信號之后僅延遲1.3微秒就開始采樣。此外，該光譜儀也可以發出TTL信號來觸發脈沖激光器或脈沖光源，并可設置開始采樣的時間延遲（-20ns至89sec，步長21ns）。適用于需要快速響應或時序控制的應用（時間抖動±21ns）。AvaSpec-ULS3648光譜儀CCD像素數多，分辨率比AvaSpec-ULS2048光譜儀提高了約30%，但靈敏度降低了50%。
的AvaSpec-USB3.0平臺為多通道的應用提供了塊化。每個通道可以設置不同的積分時間或信號平均次數，而且可以各個通道同步地開始掃描。并可以通過*的Store to RAM功能實現多通道高速同步測量，采樣頻率可達900幅/秒。此外，每個通道都可以選用不同類型的探測器，覆蓋很寬的波長范圍，實現高分辨率的測量。
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