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CCD光譜儀采用半導體技術，電路較復雜,維修成本高，使用壽命低于PMT。但是CCD光譜儀一般雙光室結構。增加紫外區小光室來分析短波元素，通過充入高純氬氣來減少光損失。
CCD光譜儀特點：
1、低噪聲和低的雜散光
2、靈活的光學接頭可直接插入狹縫和光纖
3、應用廣泛
4、高速數據采集
5、200-1050nm波長范圍
6、16bit的USB 1.1/2.0界面
7、支持多達8通道配置
8、UV增強涂層
CCD光譜儀的軟件功能
強大的功能
高智能軟件，功能強大，友好的中文操作界面。全自動儀器及附加控制，火焰、石墨爐工作模式可自動切換，可自動優化，自動稀釋；鼠標操作，自動設定菜單數據和校正方法；
石墨爐分析時，系統會給出全過程分析信息，包括測量值、溫度、程序、時間等， 并保存積分時間內所有測量的信號曲線和溫度曲線；
測量數據可以實現動態顯示。標準曲線可以實現自動擬和；
樣品測量準確：采用向導的方式對樣品進行設置，方便快捷；
靈敏度校正功能：使測量的結果更為準確。
數據共享
方便快捷的數據共享
數據處理：可對數據進行編輯保存；
打印輸出：提供單元素與多元素分析的報告；對測量結果及儀器的條件進行打印；
數據導出：數據導出功能實現了與其他系統的數據共享。
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