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表面形貌儀能夠在同一測試平臺上運行多種測試，產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進行不同模式的實驗檢測，模式切換可實現(xiàn)全自動化。多項技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析，也可以減少維護成本，從而提率。
表面形貌儀測量原理：
低相干白光同時照射樣品和參考平面，被樣品和參考平面反射的兩束白光發(fā)生干涉后由陣列式CMOS探測器接收，由于探測器直接與信號處理芯片連接，所以陣列上每個像素點的信號都在芯片中完成鎖相放大，背景信號補償和結(jié)果計算輸出，成像于計算機就實現(xiàn)了樣品表面的快速三維形貌測量。
雙模式三維表面形貌儀——共焦
可快速垂直掃描的旋轉(zhuǎn)盤共焦技術(shù)。
使用高數(shù)值孔徑 (0.95) 以及高倍數(shù)的 (150X) 3D全視野3D鏡頭，用以表征坡度分析 (zui大斜率<干涉測量>: 72o vs 44o) 。
具有光學(xué)形貌上zui高的橫向分辨率，附有5百萬自動分辨率的CCD相機， 空間下樣可調(diào)至0.05um，是表面特征以及形貌的測量的*配置。
在測量表面粗糙度/表面反射率上無限制(0.1%- 100%)
應(yīng)用于透明層/薄膜。
兼容亮視野&暗視野; 光學(xué)DIC。
長距離遠攝鏡頭是用以測量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。
*的穩(wěn)定性。
表面形貌儀產(chǎn)品特性：
1、采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級的分辨率。
2、測量具有非破壞性，測量速度快，度高。
3、測量范圍廣，可測透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料。
4、尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面。
5、不受樣品反射率的影響。
6、不受環(huán)境光的影響。
7、測量簡單，樣品無需特殊處理。
8、Z方向,測量范圍大：為27mm。
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