隨著科學技術的發展，微電子、光學、機械行業對超精密加工元件的表面面形精度檢測要求越來越高，工業生產在線檢測對測量儀器的穩定性、便攜性、靈活性和功能性提出了更高的要求。而國內現有儀器均局限于實驗室檢測，用于在線檢測的表面三維形貌檢測儀*依賴進口，價格昂貴。本作品旨在設計一款高性能、低成本表面形貌在線檢測儀，滿足相關產業檢測需求。基本設計思路：本作品在Mirau型干涉顯微鏡的基礎上，改進了光機系統結構和軟件算法。在保證精度的前提下，本作品體積減小，穩定性提高，滿足了在線檢測的要求。創新點：1、采用光機電算集成化技術，實現了光機系統緊湊化設計，建立了軟件與電路系統通過自反饋矯正系統誤差的機制，滿足了在線檢測要求；2、測量臺采用背測式結構，具有正置、倒置兩種測量模式，打破了被測元件尺寸限制，可以實現被測件的快速切換；3、該作品采用重疊平均移相干涉算法和自主開發的軟件系統，實現測量過程的自動控制。

在市場需求的推動下，用于工業生產的干涉儀向小型化發展，并且對儀器的抗干擾能力、操作簡便性、測量精度、橫向與縱向測量范圍都提出了更高的要求。因此本作品作為一種成本低、功能強的型表面微觀形貌檢測儀器，具有很好的發展前景。