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MC方案|利用白光反射光譜(WLRS)膜厚儀硅膜表征

來源:邁可諾技術有限公司   2019年05月22日 17:08  

 

光學膜厚儀 膜厚儀、測厚儀、干涉儀、厚度測量儀

FR的工具基于白光反射光譜(Reports),準確同步的厚度測量及薄膜的折射率

一個廣泛的多樣化的應用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案,如:

半導體、有機電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學傳感……

                              

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