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氮氣柜利用外接氮氣，沖入柜內保證存放的芯片不被氧化和受潮。但氮氣是一種耗材且頻繁的更換氮氣瓶浪費人力物力。三清儀器自制氮氮氣柜可將氮氣柜和氮氣起源獨立開，成為一種無需外接氮氣起源的設備，實現節約氮氣耗材和人力資源。
三清儀器自制氮氮氣柜核心組件為*，安全性能高，質量穩定。全自動自制氮氮氣柜其制氮裝置，具有分離過程無相變，氮氣壓力損失小，能耗低，操作簡單，無震動等特點。可連續穩定地工作，用戶可根據實際需要來調節氮氣濃度和流量，方便迅速，節能減排，降低運行成本，滿足沒有氮氣源的用戶方便使用氮氣柜。控制系統為人機界面控制器。有操作界面，帶輸入/輸出接口，可對數據進行處理、存儲、報警。設備性能穩定，使用壽命長。
| 產品容積 | 內徑尺寸（MM） | 外形尺寸（MM） | 隔板數量 | 開門方式 |
| 98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
| 160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
| 240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下2開門 |
| 320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右2開門 |
| 435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右2開門 |
| 540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下2開門 |
| 718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
| 870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
| 1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
| 濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調節 | 顯示精度 | 溫度：±1℃ 濕度：±3%RH | |
| 進氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節氮模組 | 多點供氣系統，SMC節氮模組 | |
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